1100nm赤外同軸スポット照明　IHVE-21IR-1100

撮像環境

カメラ：CMOS モノクロカメラ

レンズ：テレセントリックレンズ x1倍

基板：フレキシブルプリント基板

ウェハ上に基盤を固定し、ウェハ上に回路があるものとして評価しています。

□850nm

波長850nmの照射光では、シリコンウェハを透過できず黒く見える

□1100nm

波長1100nmの照射光は、シリコンウェハを透過して、基盤パターンが認識可能

□1200nm

波長1200nmの照射光は、シリコンウェハを透過するがCMOSカメラの感度領域から外れている為、黒く見える

活用例

波長1100nm の赤外光は、シリコンを透過する特定を持つことから、

○ ウェハ裏面からのパターン観察

○ シリコンウェハ内部のボイド検出

といった透過検査に最適です。