赤外光とは

赤外照明による回路パターン検査の事例をご紹介します。
赤外照明は可視光（目に見える光）より波長が長く人の目では見えない光です。
紫外光や可視光と比較すると赤外光は散乱率が非常に小さいため透過率が高くなり、液体やインクを透過させます。
特に1100nmといった波長の光は、シリコンを透過する特性をもちます。
またハロゲンと違い波長域が限定されるため、感光ワークにも影響を与えません。

赤外の波長分布グラフ

撮像事例：シリコンウェハ上の回路パターン観察

同じ赤外波長の照射光でも、波長により特性が変わります。

シリコンウェハは短波長の光を透過をしませんが、1000nm近傍から赤外波長を透過し始め、1100nm以上の赤外波長の透過率が一定になります。

その為、850nmや940nmの赤外照明ではほぼ見えず、1100nm以上の赤外照明から透過検査に使うことが出来ます。

		撮像環境 カメラ：CMOS モノクロカメラ レンズ：テレセントリックレンズ x1倍 基板：フレキシブルプリント基板   ウェハ上に基盤を固定し、ウェハ上に回路があるものとして評価しています。

□850nm 波長850nmの照射光では、シリコンウェハを透過できず黒く見える		□1100nm 波長1100nmの照射光は、シリコンウェハを透過して、基盤パターンが認識可能		□1200nm 波長1200nmの照射光は、シリコンウェハを透過するがCMOSカメラの感度領域から外れている為、黒く見える